所谓的真空的获得用物理方法获得真空的设备称为真空泵。真空泵的种类很多，主要分为机械真空泵，油蒸气泵两类。真空热处理炉上**常用的真空泵有:旋片式机械真空泵、滑阀式机械真空泵、机械增压泵、油增压泵以及油扩散泵。旋片式机械真空泵、滑阀式机械真空泵、机械增压泵属于机械真空泵类，油增压泵、油扩散泵属于油蒸气泵类。现将常用真空泵的工作原理简介如下:

　　(一)2X型旋片式真空泵(图1):这种泵的工作范围为760^-10-’托，压强在760-10-'托时有较大抽速。旋片式机械真空泵由泵体、偏心转子、活动旋片、排气阀、气镇阀等部分组成。其工作原理是:偏心转子5的槽上装有两个旋片6，旋片在弹簧的弹力及偏心转子转动时产生的离心力的作用下，使旋片在转动的过程中其两端与泵体7的内圆筒壁贴紧。泵体上的进气口、排气口被转子和旋片分成A, B两个室。当转子在泵体内顺时针旋竺吮萝个旋片周期性地将进气口方面的，室容积逐渐扩大。由于容积的增大，此时A室的压强低于进气口的气体压强，从而吸入气体，同时逐渐缩小排气口方面的B室容积。由于容积的减小，将吸入的气体压缩，使其压强增大，将排气阀门3打开，把气体排出。转子的不断转功，使这一过程不断重复，达到抽真空的目的。排气阀门浸在油内，是为了保证阎门的密封，防止大气流入泵内。2X型旋片式真空泵是由两个泵室牟联组成。两个室的转子同向等速旋转。I室是低真空级，I室是较高真空级。被抽气体由进气口1进入I室，经旋片压缩后由通道2进入I室，再经过I室的旋片压缩后，由排气阀3排出公因而，.双级旋片式真空泵的极限真空度，较单级旋片式真空泵高。、气镇阀4的作用，加热炉是通过此阀可以从外部向泵内补充空气<<以降低被抽气体水蒸气的分压力，从而防止被抽气体中所含的水蒸气扩凝结后混入油中。

　　(二)H型汾阀式真空泵(图2)这种泵的工作范围为760-10-，托，压强在10-'^760托时有较大抽丸滑阀式真空泵，由泵体、偏心轮、滑阀等部分组成‘其工作原理是:泵体1内装有滑阀4,偏心轮5装在轴6上，轴6与泵体的中心线重合。由轴6,偏心轮5带动滑阀，使滑阀沿导轨2作上下的自由滑动及左右摆动。这样，泵缸即被滑阀分成A, B两个室。当轴s逆时针旋转时，A室容积逐渐增大，从进气口吸入被抽气体，B室容积逐渐缩小。压缩气体到滑阀4至上死点时，B室被压缩的气体顶开排气阀3，并由排气口排出。如此循环，泵不断抽气、排气达到抽真空的目的。

　　(三)ZJ型机械增压泵(图3),旋片式机械真空泵和滑牌式机械真空泵，在10^-10-`托时抽速较低。为了提高在此压强范围的抽气速率，在真空系统中，经常采用增压泵。增压泵有机械增压泵、油增压泵。增压泵的特点，是在较低的入口压强时，具有较高的抽气速率。但它不能单独使用，必须有一台前级真空泵与之串联。待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到增压泵所允许的入口压强时，增压泵才能开始工作。增压泵，通常作为1x1。一。托以下的低真空系统的末级泵及高真空系统的中间过渡泵。