我们所知道的真空计有弹性式真空表、热偶真空计、电阻真空计、电离真空计等相对真空计。现将常用的真空计工作原理简介如下:

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　　（一)弹性式真空表(图6),真空表内，有一由被青铜或不锈钢等弹性材料制成的扁平截而弹簧弯管，管的一端与被测真空系统相连，另一端封死，并通过连杆齿轮与指针相连。当弹簧管内气体压强增高时，弹簧管的截面形状向圈形变化，并使弹簧管向外扩张，带动指针偏转。反之，当管内气体压强降低时，指针朝相反方向旋转。此种真空表，其真空度的测鱼范围为760托“"1托。

　　(二)热偶真空计:热偶真空计由测量真空度的敏感元件、热偶规管和测量仪器组成。规管见图7。测量仪器，由测量热电势的毫伏计和规骨加热丝稳压电源两部分组成。热偶规管与被测真空系统相通。热偶规管外壳为玻璃管，内部有加热丝1和热偶丝2。热偶丝的冷端和热端W.度不同时，由于温差效应，在回路中有热电势产生。如加热丝电压保持恒定，则热偶丝的热电势取决于加热丝的m度，而加热丝的温度与被侧气体的压强有关。如压强降低时，气体的导热率减小，被气体传走的热量减小，加热丝的温度随之升高，热偶丝的热电势增加，反之，气体压强增高时，气体的导热率增加，被气体带走的热量增加，加热丝的温度降低，热电偶的热电势减小。用毫伏表测量热电俩回路中的热电势，即可测出被测真空系统真空度的大小。

　　(三)电阻真空计(图8):电阻真空计又称皮拉尼真空计，.由电阻规管和测量仪器两部分组成。电阻规管与被测真空系统相通。规管的外壳为玻璃壳或金属壳，壳内装有电阻丝。电阻丝常用电阻溢度系数较大的钨、铂、镍等金属丝。电阻丝温度升高时，其电阻值增加。反之，温度降低时，电阻值减小。电路系统保持电阻丝两端的电压恒定。如被测真空系统的气体压强降低时，气体的导热率相应减小，被气体传走的热M减小，规管内电阻丝温度升高，其电阻R，相应增加。反之，气体压强增高，R，相应减小。其侧量电路为惠斯登电桥。规管的电阻丝为电桥的一竹，RZR。是固定电阻，R3是可变电阻。电桥平衡的条件是R,"R,=R2"R当R，变化时，电桥失去平衡，不平衡电流值由微安表读出，即可测出真空度的变化。