以下就是我们常见的真空系统：

　　(1)真空度在10^-10-，托压强范围的真空系统(图10)s一般只采用机械真空泵就可以了。当真空度要求稍高，抽气速率要求不大的情况下，宜选用旋片式真空泵。当需要较大的抽气速率而真空度要求不太高时，可采用滑阀式真空泵。

　　(2)真空度在10-=^-10一托压强范围的真空系统:一般由增压泵和机械泵组成。增压泵可以111罗茨泵也可用油增压泵。罗茨泵的极限真空度略低于油增压泵，但抽速比油增压泵大，可以根据不同使用情况选用。图11,图12为罗茨泵一机械泵真空系统。图11真空系统的工作过程如下:开始抽真空时启动机械泵1，同时打开电磁阀2，关闭阀们4、阀门9，打开阀门10，机械泵对真空炉预抽真空。当机械泵达到罗茨泵启动压强时，关闭阀门10，打开阀门4、阀门9,启动罗茨泵，直至抽到所要求的真空度。图12与图11真空系统的区别在于图12的系统把机械泵与罗茨泵串联，省去了机械泵的预抽管路。加热炉其优点是管路简化，阀门数量少，操作方便。

　　(3)真空度在10~10。托压强范围的真空系统:这种真空系统一般由油扩散泵、油增压泵、机械泵组成。也有不配用埔压泵而直接由油扩散泵和机械泵组成的。图13为油扩散泵一油增压泵一机械泵的真空系统。